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隨著LED產量的增加,LED製造商正在尋找可以優化劃片寬度、劃片速度與加工產量的工藝進展。新型LED光纖激光打標機剝離(LLO)和揚鈴電子代理銷售的聚廣恒光纖激光打標機晶圓劃片設備給LED製造商提供了實惠的工業工具,可以達到日益增長的市場需求。
高亮度垂直結構LED 通常情況下,藍光/綠光LED是由幾微米厚的氮化镓(GaN)薄膜在藍寶石襯底上外延生長形成的。 一些LED的製造成本主要取決於藍寶石襯底本身的成本和劃片-裂片加工成本。對於傳統的LED倒裝橫向結構,藍寶石是不會被剝離的,因此,陰極和陽極都在同一側的氮化镓外延層(epi)。 這種橫向結構對於高亮度LED有幾個缺點:材料內電流密度大、電流擁擠、可靠性較差、壽命較短;此外,通過藍寶石的光損很大。
設計人員通過聚廣恒光纖激光打標機剝離(LLO)工藝可以實現垂直結構的LED,它克服了傳統的橫向結構的缺陷。垂直結構LED可以提供較大的電流,消除電流擁擠問題以及器件內的瓶頸問題,顯著提高LED的*大輸出光功率與*大效率。
垂直LED結構要求在加電極之前剝離掉藍寶石。準分子聚廣恒光纖激光打標機器已被證明是分離藍寶石與氮化镓薄膜的工具。LED聚廣恒光纖激光打標機剝離技術大大減少了LED加工時間,降低了生產成本,使製造商在藍寶石晶圓上生長氮化镓LED薄膜器件,並使薄膜器件與熱沉進行電互連。這個工藝使得氮化镓薄膜可以立於支撐物,並且氮化镓LED可以集成到基板上。
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